Semiconductor Device and Failure Analysis Using Photon Emmission Microscopy: Using Photon Emissing Microscopy (Quality and Reliability Engineering Series) | Cover
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Semiconductor Device and Failure Analysis Using Photon Emmission Microscopy: Using Photon Emissing Microscopy (Quality and Reliability Engineering Series) [Gebundene Ausgabe]

von: Chim, Wai Kin

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Kurzbeschreibung
Integrierte Schaltkreise werden immer komplexer - deshalb wird es zunehmend schwieriger, Fehler schnell und treffsicher aufzuspüren. Die Photonenemissionsmikroskopie (PEM) ist eine Analysetechnik auf physikalischer Grundlage, die sich als Fehlererkennungsmethode bewährt hat. Dieser Band erläutert alle Aspekte dieser Methode, von der instrumentellen Ausrüstung über spezifische Details der Mikroskope bis hin zu Merkmalen der Photonenemission unter verschiedenen Bedingungen. (11/00)

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Produktdetails

ISBN: 047149240X, EAN: 9780471492405

Gebundene Ausgabe: 288 Seiten

Verlag: Wiley

Veröffentlicht im: November 2000

Größe: 23,7 cm x 15,9 cm x 1,9 cm

Gewicht: 577 g

Lagerort: Buchmarie, 64293 Darmstadt, Bunsenstr. 14a

Regal: 39102

Bestellnummer: 3337647_170